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通俗的说下芯片和光刻机

作者:军工之都市

芯片,也就是半导体集成电路,大家也都知道,其实在我们现在日常生活中都能用到芯片,比如手机,还有计算机的处理器,家电,网络,都需要芯片。


芯片生产的过程,简单来说就是单晶硅晶圆用作基层,然后使用光刻、掺杂、CMP等技术制成各种的微型组件,再利用薄膜和CMP技术制成导线,完成芯片制作。


当然实际上芯片的生产,工艺达到了几十步,甚至更多。


再通俗易懂的说,集成电路制造,是要在几平方厘米的面积上,成批的制造出数以亿计的器件,而每个器件结构的也相当复杂。


接下来说说光刻。


光刻就是芯片生产的步骤之一,说光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤完全不为过。


主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上,为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。


光刻的成本约为整个芯片制造工艺的1/3,耗费时间约占整个硅片工艺的40~60%!


所以说光刻工艺非常非常的重要。


而光刻机也是生产线上最贵而且最有技术难度的机台!


光刻工艺过程又分为硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序……


而且制程的纳米数越小,对光刻精度的要求也就越高,难度也是指数倍的增加。



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